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白光干涉
白光干涉厚度檢測系統(tǒng)基于多束反射光相干原理,通過分析材料上下表面反射光形成的干涉條紋與調(diào)制頻率,實現(xiàn)非接觸、無損、納米級厚度測量。系統(tǒng)包含光源、光纖、檢測支架、光譜儀等組件,適用于晶圓膜層、光學膜、涂料膜、鋰電隔膜等透明或半透明材料。檢測厚度范圍覆蓋 1nm 至 70μm,精度達 1nm,入射角為0°,兼容大多數(shù)涂層材料及多層疊膜結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)測量速度快、穩(wěn)定性高,廣泛部署于高端膜材、光電材料與半導體制造中。
白光干涉
厚度測量
非接觸測量
膜材料檢測
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