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光譜共焦
光譜共焦厚度測量系統(tǒng)利用色散光學技術建立波長與焦距的對應關系,通過解碼反射光譜實現(xiàn)材料表面高度和厚度的超高精度測量。系統(tǒng)由光源、光纖、檢測支架、光譜儀及共焦探頭構成,適用于玻璃、鏡頭、晶圓、芯片、太陽能電池板等高精度結(jié)構。系統(tǒng)可輸出位移與厚度雙數(shù)據(jù),適應流水線高速在線檢測需求,特別適用于復雜紋理與多層結(jié)構的表面。
光譜共焦
厚度測量
非接觸檢測
精密表面