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薄膜厚度在線測控系統(tǒng)
系統(tǒng)擁有X射線、β射線、紅外射線、白光干涉、光譜共焦等高精度厚度傳感器,實(shí)現(xiàn)對膜材的克重/厚度進(jìn)行在線檢測,并通過自研的橫、縱閉環(huán)控制技術(shù),自動(dòng)調(diào)節(jié)控制材料擠出,從而實(shí)現(xiàn)膜材整體質(zhì)量的有效控制。
閉環(huán)控制
高精度檢測
非接觸無損檢測
智能數(shù)據(jù)分析
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